金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司取得一项名为“一种位置误差识别与补偿装置”的专利，授权公告号CN222838825U，申请日期为2024年6月。

　　专利摘要显示，本实用新型提供一种位置误差识别与补偿装置，包括基座、分别固设于基座的下运动台和视觉系统，下载台滑动连接于下运动台，下载台设有下晶圆承载工位，下载台设有第一标识、第二标识、第三标识和第四标识，第一标识和第二标识沿第一方向间隔设于下载台的端部；第三标识和第四标识沿第一方向间隔设置且靠近下晶圆承载工位；视觉系统具有2个且沿第一方向间隔设置。本实用新型提供的一种位置误差识别与补偿装置，实现对下载台在装载位和对准位之间移动，前后两次在对准位的位置误差的检测，从而间接得到下晶圆的位姿变化量，对上晶圆的目标位置补偿提供依据，从而提高上晶圆和下晶圆的对准精度。

　　天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本24000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目77次，财产线条，此外企业还拥有行政许可94个。

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